Bei bestimmten Analytik-Prozessen in der Halbleiterproduktion wird das Helium selbst nicht weiter effektiv genutzt, sondern nach der Analyse entsorgt. Zu schade drum ...
Daher hat Air Liquide bei einem Kunden in Dresden ein Projekt ins Leben gerufen, um das wertvolle Material zurückzugewinnen. Über verschiedene Prozessschritte wird das genutzte Gas wieder aufbereitet. Dabei werden Kosten gespart. Und durch eine hochtechnisierte Aufreinigung kann sogar die Ausgangsqualität von 8.0 (99,999999 %) Reinheit gewährleistet werden.